國(guó)儀量子電鏡解決方案部經(jīng)理鄭健萍介紹，SEM5000X蠕變電鏡系統(tǒng)不僅是臺(tái)高分辨的電鏡，還是一套先進(jìn)的材料研究平臺(tái)。它通過(guò)“空間換時(shí)間”的方法，將傳統(tǒng)固定在電鏡內(nèi)部的原位儀器革新到電鏡腔體之外，從而滿足上百小時(shí)、甚至上千小時(shí)的材料性能與微觀結(jié)構(gòu)的同步實(shí)時(shí)表征。

點(diǎn)擊觀看

目前，SEM5000X蠕變電鏡系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)室溫條件下的拉伸、壓縮、三點(diǎn)彎曲，以及高溫下的拉伸、蠕變等試驗(yàn)，同時(shí)對(duì)材料的微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行表征分析，也可以結(jié)合EBSD探測(cè)器，分析材料在試驗(yàn)過(guò)程中的晶相、物相結(jié)構(gòu)演變。也可以模擬材料在服役過(guò)程中的受力、力熱耦合場(chǎng)景、并可向蠕變腔體通入一定氣氛，模擬材料的服役環(huán)境條件。此外，這套系統(tǒng)還可以升級(jí)加配疲勞測(cè)試系統(tǒng)、低溫測(cè)試系統(tǒng)、電化學(xué)測(cè)試系統(tǒng)等，以及離子輻照模塊，滿足用戶多樣化的測(cè)試需求。

SEM5000X蠕變電鏡系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了在納米尺度下，觀察材料在高溫蠕變過(guò)程中的結(jié)構(gòu)演變和環(huán)境損傷情況，實(shí)現(xiàn)了結(jié)構(gòu)表征與性能測(cè)試的完美結(jié)合，整體性能達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。

從高溫合金的蠕變機(jī)理研究到航空發(fā)動(dòng)機(jī)關(guān)鍵部件的性能評(píng)估，從先進(jìn)納米材料的結(jié)構(gòu)表征到高端芯片的研發(fā)制造，這套SEM5000X蠕變電鏡系統(tǒng)正在大灣區(qū)顯微科學(xué)與技術(shù)研究中心發(fā)揮著越來(lái)越重要的作用。未來(lái)，它不僅能突破傳統(tǒng)材料測(cè)試的局限，更將為我國(guó)先進(jìn)結(jié)構(gòu)材料的自主創(chuàng)新打下堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。